“其次是光学系统，包括反射镜、凹面镜、凸面镜等元件。这些元件的作用是将光线聚焦在正确的位置，以实现精确的光刻。”
“首先是光源系统，通常采用高亮度、高稳定性的光源，如激光或发光二极管等。光源的波长和功率都会影响光刻的精度和速度。”
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